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电子光学车间净化

关于净化工程的几大分类
发布时间:2016-05-10   浏览次数:1211

文章摘要:此空间的设计施工过程即可称为净化工程。复合式净化工程为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部净化车间超洁净之环境。
   所谓的净化工程就是为了使控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。净化工程可以分为乱流式 (Turbulent Flow)、层流式(Laminar)。
净化工程

  1、乱流式

  采用乱流式的净化工程,空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于净化车间等级1,000-100,000级。

  优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高净化车间等级。

  缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

  2、层流式

  采用层流式的净化工程,层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其净化车间等级为Class1~100。其型式可分为二种:

  (1)水平层流式净化工程:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。

  优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。

  缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。

  (2)垂直层流式净化工程:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

  优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。

桔子彩票登陆  缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。

   复合式(Mixed Type):复合式净化工程为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部净化车间超洁净之环境。


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